商品型号:YWCVD-6
YWCVD-6系列6微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备是一台高配置、多用途、高稳定中等压强微波等离子体(MPCVD)综合加工设备。它适合应用于单晶和多晶金刚石膜片的化学气相沉积(CVD);材料表面处理和改性;低温氧化物的生长等高新科技领域。可供钻石生产的基台为60MM,其自带的360°自动旋转功能可以更均衡地培育钻石,带钻石原位生长功能,该设备带自动化控制软件(锁定温度:气压温度功率自动化匹配)和远程控制程序,可以实现随时监控设备情况。
本机带远程控制,可以用手机和电脑进行实时察看监控;在买方授权情况下也可以用作远程维护;
付款条件(Payment term):预付定金50%,发货前付清余款
机器验收标准(Acceptance criteria):甲方机器到乙方工厂,安装调试完成后,放入一炉金刚石种片,生长2-3天左右取出,生长厚度增加300-1000微米,颜色达到DEFG色中任何色,净度VS即为达到标准。
售后服务:该报价提供一年质量保证,终生维护。接到买方通知,实时开始响应,用视频、照片方式进行即时回复,如果视频、照片、电话等无法解决问题,48小时内双方约定维护时间解决。
该机器自带2种配方:配方1:高色钻石(用于首饰级钻石生产;配方2:用于种子级生长;第二界面可以任意输入客户需要的配方;
主要耗能:6KW电源和真空泵1.5KW ;
毛坯的生长尺寸:该机器的基台为60MM直径,可以放置不超过51MM-60MM直径任意尺寸的金刚石晶种片
MPCVD YWCVD-7 配置清单
项目名称 | 型号 | 配置 | 数量 (套\件) | 备注 |
全自动控制系统 | 气压、温度、功率自动匹配 | 1 | 远稳 | |
微波电源 | 6KW | 微波控制电源 微波发生器 | 1 | 进口赛龙或远稳 |
微波传输系统及腔体 | 波导、圆形腔体 | 1 | 远稳 | |
模式变换器 | BJ26 | 1 | 远稳 | |
基台 | 直径 6CM/6KW | 水冷却、 电动升降、 电动连续旋转 360度 | 1 | 远稳 |
5路气体流量控制系统 | 选5路 | 500SCCM H2 60sccm N2 60sccm CH4 60sccm O2 60sccm Ar | 5 | 美国进口 |
真空及气体管路 | 混气罐、波纹管等 | 1 | 远稳 | |
直连机械泵 | RVP-36 | 6升/秒 | 1 | 远稳 |
薄膜计 | MPS-2050C/D | 量程10Pa—99kPa | 1 | 远稳 |
真空计 | 皮拉尼 | 10-1---10-9 Pa | 1 | 英富康 |
基片红外测温 | IRTP600DL | 高精度红外测温仪 测温范围150-1200C | 1 | 远稳 |
屏幕PLC | 14 寸液晶屏 | PLC | 1 | 昆仑通泰屏幕 |
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